Arbetsprincipen för vakuumpump i torr skruv är att realisera gasleverans och komprimering genom att regelbundet ändra interandvolymen genom motsatt rörelse av ett par asymmetriska skruvrotorer. Den specifika processen är uppdelad i tre steg: sug, komprimering och avgaser:
Inloppsprocess: När rotorn börjar rotera expanderar inter-tandvolymen gradvis och bildar ett vakuum och gasen sugs in under tryckskillnaden. När rotorn fortsätter att rotera fortsätter interandvolymen att expandera och förblir ansluten till sugöppningen tills sugprocessen slutar.
Komprimeringsprocess: När rotorn roterar ytterligare börjar inter-tandvolymen att minska, och volymen på gasen förseglad däri minskar också, vilket resulterar i en ökning av trycket och därmed realiserar gaskompressionsprocessen.
Avgasprocess: När interandvolymen är ansluten till avgasöppningen släpps gasen med avgasstryck gradvis genom avgasöppningen tills gasen i interandvolymen släpps helt.
